田中貴金属工業が、真空成膜装置部材に付着した貴金属の新たな回収方法を確立

～2025年までに供給体制を整備し、限りある貴金属資源のリサイクル推進とサーキュラーエコノミー（循環経済）への更なる貢献～

　田中貴金属グループの中核企業として産業用貴金属事業を展開する田中貴金属工業株式会社（本社：東京都千代田区、代表取締役社長執行役員：田中 浩一朗）は、治具洗浄法「TANAKA Green Shield」を確立したことを発表いたします。

　本洗浄法は、半導体の製造工程などで使用される真空成膜装置(※1)部材の防着板(※2)に、ニッケルめっき加工を施すことが特長です。ニッケルめっき加工された防着板は、容易にプラチナやパラジウムなどのPGM(※3)スパッタ膜の剥離を行うことが可能となります。
【製品ページ】https://tanaka-preciousmetals.com/jp/products/detail/tanaka-green-shield/